這款多功能20Q系列高壓氣體質量流量計可縮短檢定或驗證高壓(160-320psia)條件下運行流量所需時間,還能夠同時實時測量質量流量、體積流量、管線壓力和管線溫度
應用及案例●大學/研究所●環境監測●真空行業及鍍膜●工業爐窯●半導體●汽車制造●光伏●燃料電池●計量校準●過程工藝氣體測量產品特色●數字化產品●多參數顯示和輸出:溫度、壓力、流量等●多參數控制
量程10SCCM-3000SLPM,優于2%的精度,控制范圍廣,優于100ms響應時間,適用于高壓應用 21Q系列氣體質量流量控制器,同我們的標準控制器一樣,能對需要較高管線壓力(160-320psia)的應用環境進行快速控制響應