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Delta質量流量計
DELTA® II流量比例控制器隨著 DELTA 流量比例控制器的使用， 優化工藝結果將變得容易。它可將混合的工藝氣體按比例分為兩路以提高均勻性等工藝參數。比例可從1:1至1:20。
使用DELTA™流量比例控制器(FRC)能更容易獲得的工藝性能。FRC廣泛用于不同的流量分離設備，如刻蝕、去膠和PECVD工藝設備中，FRC使用戶能夠將氣體或混合氣體分送至同一反應室中的兩個不同區域。根據氣體(或任何混合氣體)及其設定比率，FRC會自動將氣體分送到兩個不同的出口。
在任何新的和已有的工藝設備中使用FRC都很簡單。擁有大量程范圍的流量(500/500sccm到10,000/10,000sccm)可供選擇，FRC均可以滿足您的要求。憑借擁有版權的計算器，我們應用工程師們將為您的應用選擇正確的部件。MKS會傳送給您有關機械和電學細節的電子文檔，幫助您開始進行部件的整合。由于FRC在工作中保持一個低于大氣壓的管道壓力，因而通常不需要特殊的防漏措施。
- 品 牌：MKS
- 計量單位：臺
- 商品性質：實物銷售
- 產 地：美國
- 交貨周期：6-8周
- 包裝形式：紙箱包裝
- 保 修 期：保修12個月
- 市場價格：請來電 0510－咨詢或在線留言
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