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概要
MARK3系列是在未改變質量流量控制器所必須的品質特性的條件下*實現成本降低的量產產品。材質和泄漏規格則與一般型號產品的SEC-400、SEC-500系列*一致。主要用途為制程用的氣體流量控制、根據重點關注于重復性以及限定氣體的種類、流量進行大量生產、實現了大幅度的成本降低。于定流量、長時間的穩定控制重復控制的場合。而且也同樣適用于研究所的簡易流量控制。
特征
- 搭載熱感閥
- 追求成本優勢、實現成本降低
規格
| SEC-400MK3 | |
| 氣體接觸部材質 | SUS-316、氟化橡膠 |
| 閥門類型 | NO: 非通電時：開 |
| 標準流量量程 | 10/20/50/100/200/500 SCCM 1/2/3/5 SLM ：空氣.N2.O2.Ar.H2.He |
| 流量控制范圍 | 5?100％ F.S.(滿量程) |
| 流量精度 | ±2.0％ F.S.(滿量程) |
| SEC-500MK3 | |
| 氣體接觸部材質 | SUS-316、氟化橡膠 |
| 閥門類型 | NO: 非通電時：開 |
| 標準流量量程 | 10/20 SLM ：空氣.N2.O2.Ar.H2.He |
| 流量控制范圍 | 5?100％ F.S.(滿量程) |
| 流量精度 | ±2.0％ F.S.(滿量程) |
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