AMAT - 0040-54319 - CAP, LID, ALD TAN 300MM5

AMAT 0190-17208 VACUUM HANDLER ASSY

AMAT 0240-31205 KIT REWORK WAFER bbbbbbbb SENSOR/LOADLOCK3

AMAT 0010-00813 Flatfinder Assembly 150 MM Stretch Endura

AMAT 0010-01171 Slit Liner Door Clamp Lid Assembly Chemraz

AMAT 0010-01171 Slit Liner Door Clamp Lid Assembly Chemraz6

AMAT 0010-01171 Slit Liner Door Clamp Lid Assy. (Chemraz) Etch

AMAT 0010-01171 Slit Liner Door Clamp Lid Assy. (Chemraz) Etch6

AMAT 0010-02977 Automatic Matching Network RF SUB ZERO BESC

AMAT 0010-03175 Susceptor Assembly 200mm TEOS 8" Ceramic

AMAT 0010-03175 Susceptor Assembly 8"/200mm TEOS

AMAT 0010-03412 WxZ Heater Assembly

AMAT 0010-03412 WxZ Heater Assembly5

AMAT 0010-03530 Diamond C Head Carrier Plate Assembly + Certs

AMAT 0010-03530 Diamond C Head Carrier Plate Assembly + Certs6

AMAT 0010-03530 Diamond C Head Carrier Plate Assembly6

AMAT 0

VALVE ASSY, PI MASS FLOW VERIFIER -3-PORT FW-1.08MFV 0190-26370 obs and replaced by 0190-63631

CNTRL PRESSURE UPSTREAM 0-1000 N/O 1/4MVCR 0-10V 1

BPC ( Back Pressure Controller )

SINGLE CHANNEL VULCAN PYROMETER, RTP

EMISSOMETER, VULCAN, RTP

CONN 6COND ROTATING FEED THROUGH

GLASS, WAFER METROLOGY LSA101 GLASS window

TOP PLATE,SIC,HOT CHUCK,300MM (Top plate)

REFLECTOR PLATE, PROBE INJECT, 300MM RA

REFLECTOR, LAMP, .712 OD MASKED, VULCAN

DPN chamber slit valve door

SLIT VALVE INSERT ENHANCED ACP ENP AL N2

Hot chuck height adjuster chuck 調整螺釘

PIN, LOCKING, CHAMBER LOWER LINER, 300MM EPI lock pin

BLADE, QUARTZ, SINGLE BLADE ROBOT TAPER EPI buffer blade

WINDOW QUARTZ 6MM DSA RTP

ASSY,PADDLEW/QUARTZ,END EFFEC(lsa arm(一套))

FRU ASSEMBLY, DIRECT DRIVE RBT. ROT. COO

AMAT

AMAT

AMAT

AMAT

AMAT

Veeco

Veeco

AMAT

AMAT

AMAT

AMAT

Veeco

AMAT

AMAT

AMAT

Veeco

AMAT

0190-63631

0190-19522

0190-32004

0190-32002

0720-02672

14-21-11993

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6005

0242-89900

電控部件

電控部件

電控件

電控件

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光學部件

硅件

金屬件

金屬件

金屬件

金屬件

金屬件

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石英件

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陶瓷件

運動部件

EPI

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Vantage Vulcan*

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Centura ACp*

LSA101

LSA101

Centura ACp*

Vantage Vulcan*

Centura ACp*

Centura ACp*

LSA101

EPI

EPI

Vantage DSA

LSA101

Centura ACp*

AMAT 0010-13019-001 Side PVD Magnet 300mm Encore Ch6

AMAT 0010-13755 WxZ Exhaust Port Kit w/ Viton Seals

AMAT 0010-13755 WxZ Exhaust Port Kit w/ Viton Seals6

AMAT 0010-16957 Assembly Liner Top Source 200mm/8" HART

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