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HORIBA流量計AMAT3030-17596

簡要描述：AMAT3030-17596EDWARDS愛德華、磁懸浮分子泵維修、普發分子泵維修、Varian分子泵、ULVAC分子泵維修、阿爾卡特分子泵維修、Leybold分子泵維修、EDWARDS分子泵維修、SeikoSeiki分子泵維修、島津分子泵維修、Osaka分子泵維修私營合伙企業

  • 產品型號：2203
  • 廠商性質：經銷商
  • 更新時間：2024-05-15
  • 訪  問  量：1211
詳情介紹

         AMAT3030-17596              

Cryo-Plex 16 低溫泵


HORIBA流量計AMAT3030-17596


考慮全面的高效設計，使得Cryo-Plex 10低溫泵可以實現兩倍于8寸低溫泵的抽速，是理想的潔凈、無油高真空排氣方案。


標準應用：半導體、空間環境模擬、真空鍍膜以及各種研發領域

配置靈活

支持ANSI、ISO、CF等多種法蘭接口

用一臺M600氦氣壓縮機可以同時驅動單臺或者兩臺Cryo-Plex10 低溫泵，從而節省空間、電能和維護工作。對于需要多臺低溫泵的大型真空室，是非常理想的選擇。

標準設計

Austin Scientific的Cryo-Plex 系列低溫泵、壓縮機可以與Helix品牌的CryoTorr系列低溫泵、壓縮機相互兼容和替換，從而大大方便使升級、維修、交換等服務。




參數

Cryo-Plex 10 - Gas pumping speeds liters/second
Air3,000
Water9,000
Hydrogen5,000
Argon2,500
Gas capacities - standard liters @ 5x10-6 Torr
Hydrogen24
Argon2,000
Throughput
Argon sccm1,500
Crossover
Torr-liters300
Cool down time
60 Hertz

  • 最寬的流量和壓力適用范圍

  • 長期穩定性保障設備使用價值

  • 包括經認證適用于危險區域的產品

  • 可清洗/沖洗的設備外殼

流體類型
氣體
流量范圍-滿量程容量
3 sccm - 2500 lpm
精度
± 0.6% of SP
最大壓力
4500 psig
溫度
65oC
輸出類型
Analog & Digital

金屬密封熱


  • 適用于對濕度或氧氣敏感的過程

  • 高純度流路可最大限度降低過程污染，提高產率

  • 超快速響應能力

流體類型
氣體
流量范圍-滿量程容量
3 sccm - 300 slpm
精度
SP ±1%
最大壓力
150 psig
溫度
50oC
輸出類型
Analog & Digital

高溫熱

  • 最高工作溫度

  • 高精度和可重復性

  • 超高純度結構

流體類型
氣體 , 水汽
流量范圍-滿量程容量

3 sccm - 10 slm

精度
SP ±1%
最大壓力
145 psig
溫度
105oC
輸出類型
Analog & Digital

科里奧利


  • 超低流量過程可達到的最高精度

  • 內置式液體密度計

  • 同時適用于液體和氣體應用的設備

流體類型
氣體, 液體
流量范圍-滿量程容量

10 - 27,000 gram/hr

精度
0.2% - 0.5% of Rate
最大壓力
4500 psi
溫度
65oC
輸出類型
Analog & Digital
60 Min
Cryopump measurements
Height23.9"
Weight LBS85
Inlet flangeANSI/ISO/CF


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